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[主观题]

对于某种薄膜的CVD过程,淀积温度为900℃,质量传输系数hG=10cms-1,表面反应速率系数ks=1×107exp(-1.9eV/kT)cms-1.现有以下两种淀积系统可供选择(1)冷壁,石墨支座型;(2)热壁,堆放硅片型。应该选用哪种类型的淀积系统并简述理由。

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更多“对于某种薄膜的CVD过程,淀积温度为900℃,质量传输系数hG=10cms-1,表面反应速率系数ks=1×107exp(-1.9eV/kT)cms-1.现有以下两种淀积系统可供选择(1)冷壁,石墨支座…”相关的问题

第1题

在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。
在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。

A.使薄膜的介电常数变大

B.可能引入杂质

C.可能使薄膜层间短路

D.使薄膜介电常数变小

E.可能使薄膜厚度增加

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第2题

对于回收沥青在进行加热时,需要工人进行测检温度,温度仪显示加热到多少度时()覆盖在新、旧集料表面的薄膜变得均匀

A.90℃~110℃

B.100℃~120℃

C.130℃~150℃

D.150℃~160℃

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第3题

红壤形成的地球化学特征之一是具有()过程。

A.残积粘化

B.淀积粘化

C.双重粘化

D.富铝化

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第4题

对于浓度覆盖很宽的杂质原子,可以采用()方法引入到硅片中。

A.离子注入

B.溅射

C.淀积

D.扩散

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第5题

()是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。

A.LPCVD

B.PECVD

C.CVD

D.PVD

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第6题

()主要是以化学反应方式来进行薄膜沉积的。

A.PVD

B.CVD

C.溅射

D.蒸发

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第7题

液压试验时,压力容器壳体的环向薄膜应力值不得超过试验温度下材料屈服应力()与圆筒的焊接接头系数的乘积。

A.50%

B.70%

C.80%

D.90%

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第8题

2019指南新增:在降糖治疗中,对于T2DM合并CVD的T2DM患者,推荐使用恩格列净、卡格列净、达格列净,推荐等级为()

A.Ⅰa

B.Ⅱb

C.Ⅱa

D.Ⅲ

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第9题

电致变色器件可智能调控太阳光透过率,从而实现节能。下图是某电致变色器件的示意图。当通电时,Ag+注入到无色WO3薄膜中,生成AgxWO3,器件呈现蓝色,对于该变化过程,下列叙述错误的是()。

A.Ag为阳极

B.Ag+由银电极向变色层迁移

C.W元素的化合价升高

D.总反应为:WO3+xAg=AgxWO3

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第10题

LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的,APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。()
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第11题

导体对电流的阻碍作用称为电阻,在温度一定时,某种导体的电阻与它的长度成____,与它的横截面积成反比。

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